SPT200 – Sono-Tek

SPT200, una soluzione completa per il coating di wafer per semiconduttori, con film sottili uniformi adatto ad applicazioni di fotoresistenza e a soluzioni in cui il rivestimento tradizionale, ad alta velocità, non può fornire una copertura uniforme, tipo topografie, per via della profondità, o per parti con aspetto bidimensionale tipo i MEMS. SPT200 viene utilizzato per l’elaborazione di wafer per semiconduttori da 100, 150, 200 e 300 mm.

Per saperne di più sugli ugelli ad ultrasuoni >>>

Applicazioni:

Industria del vetro, semiconduttori.