SPT200 – Sono-Tek

SPT200, una soluzione completa per il coating, di wafer per semiconduttori, con film sottili uniformi per applicazioni di fotoresistenza, adatto a soluzioni in cui il rivestimento tradizionale, ad alta velocità, non può fornire una copertura uniforme tipo topografie, per via della profondità, o per parti con aspetto bidimensionale tipo i MEMS. SPT200 viene utilizzato anche per l’elaborazione di wafer per semiconduttori da 100, 150, 200 e 300 mm.

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Applicazioni:

Industria del vetro, semiconduttori.

Allegati

SPT200

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