Microscopia a scansione elettronica con microsonda (FESEM – EDS)

Microscopia a scansione elettronica con microsonda (FESEM – EDS)

PRINCIPIO	Un raggio elettronico focalizzato scansiona il campione. Registrando con opportuni rivelatori gli elettroni ed i raggi X provenienti dal campione dopo l’interazione con la sorgente, si possono ricavare diverse informazioni: immagini morfologiche (le punte appaiono chiare e le valli scure), immagini composizionali (gli elementi più pesanti appaiono più chiari) e misura della microcomposizione. E’ possibile eseguire mappe della composizione del campione.
MISURA	Morfologia: le dimensioni dei particolari, ad esempio particelle possono essere misurate in μm o nm. Composizione: % in peso degli elementi presenti.
CAMPIONI	Adatto a solidi (dimensione massima 100x100x20mm), polveri e paste. Non adatto a liquidi, perché l’analisi è eseguita in vuoto.
INTERVALLO MISURA	Morfologia: dettagli fino a 10nm (ingrandimenti fino a 106X). Composizione: sono rilevati elementi in concentrazioni superiori a 0.1-1% peso. Risoluzione dell’analisi di composizione: 0.5-5μm.
APPLICAZIONI (esempi)	Misura di microparticelle ed altri dettagli in polimeri ed altri materiali compositi. Mappatura delle fasi presenti in una lega metallica. Analisi di difetti morfologici o composizionali nell’industria elettronica. Campioni biologici.